管式PECVD上下料機

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商品詳情

一生產工藝
將經過管式PECVD工藝處理后石墨舟內的硅片，自動裝載至硅片承載盒中或將未經過管式PECVD工藝處理承載盒里的硅片自動裝載至石墨舟內，
石墨舟由自動機械手送入PECVD內鍍膜處理。

二工裝
硅片花籃片數=100/50 籃尺距=4.76MM
石墨舟可定制工裝

三產能
≥4500pcs/h

四碎片率
≦0.03%（原碎片除外）A片

五自我總結
這款機器重點在于機器人吸盤的精準度技巧，采用不易變形的輕型材料加工，結構設計上采用了對稱的均衡應力的方法，使插片經久耐用結構穩定，雖然此款設備我們做的比較晚，但與同行相比，在穩定性碎片率劃傷率方面已領先諸多廠家

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