一 生產工藝
將經過管式PECVD工藝處理后石墨舟內的硅片,自動裝載至硅片承載盒中或將未經過管式PECVD工藝處理承載盒里的硅片自動裝載至石墨舟內,
石墨舟由自動機械手送入PECVD內鍍膜處理。
二 工裝
硅片花籃 片數=100/50 籃尺距=4.76MM
石墨舟 可定制工裝
三 產能
≥4500pcs/h
四 碎片率
≦0.03%(原碎片除外)A片
五 自我總結 這款機器重點在于機器人吸盤的精準度技巧,采用不易變形的輕型材料加工,結構設計上采用了對稱的均衡應力的方法,使插片經久耐用結構穩定,雖然此款設備我們做的比較晚,但與同行相比,在穩定性碎片率劃傷率方面已領先諸多廠家